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  2. 公司技術(shù)站群
    關(guān)注公司技術(shù)
    產(chǎn)品名稱:XYZ直線電機(jī)滑臺(tái)
    產(chǎn)品概要:
    -- 直線軸XYZ納米級(jí)定位精度;
    -- 精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
    -- 主體鋁合金材質(zhì)
    產(chǎn)品精度:
    -- XY軸重復(fù)精度±100nm
    -- Z軸重復(fù)精度±200nm
    產(chǎn)品名稱:XYθ平臺(tái)
    產(chǎn)品概要:
    -- 直線軸XY+旋轉(zhuǎn)軸θ電機(jī)平臺(tái);
    -- 小行程精密運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合;
    產(chǎn)品精度:
    -- XY軸重復(fù)精度±0.5μm
    -- θ旋轉(zhuǎn)軸精度±2.5arcsec
    產(chǎn)品名稱:耦合平臺(tái)
    產(chǎn)品概要:
    -- 直線軸XYZ+旋轉(zhuǎn)軸ABC共6軸電機(jī)平臺(tái);
    -- 適用光纖耦合;
    產(chǎn)品精度:
    -- XYZ軸重復(fù)精度0.3μm
    -- ABC旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)精度±1.5arc sec
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